上海微电子“投影物镜光学体系及光刻机”专利揭露

来源：杏彩体育是不是黑平台发布时间：2024-01-21 20:41:53 浏览次数： 1

【上海微电子“投影物镜光学体系及光刻机”专利揭露】财联社11月28日电，上海微电子配备（集团）股份有限公司今天揭露了其最新的光刻机相关专利。据天眼查显现，上海微电子揭露的专利名为“投影物镜光学体系及光刻机”。该专利摘要显现，本发明供给了一种投影物镜光学体系及光刻机，所述投影物镜光学体系沿其光轴方向从物面到像面顺次包含：榜首透镜组、第二透镜组、光阑、第三透镜组与第四透镜组。其间，所述第三透镜组与所述第二透镜组关于所述光阑对称，所述第四透镜组与所述榜首透镜组关于所述光阑对称，所述投影物镜光学体系是对称结构，且所述投影物镜光学体系中所有的透镜组均具有正光焦度，以此能够在进步成像质量的基础上，增大曝光体系的视场尺度，提高产率。从上海微电子的首要股东信息来看，A股上市公司上海电气持有公司42.3%的股份，张江高科全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有公司14.21%股份。